NPO法人 ESD協会
Japan ESD Association
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静電気対策セミナー 2019.11.27

NPO法人ESD協会 静電気対策セミナー開催ご案内

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静電気対策基礎セミナー

100V以下の静電気対策(CDM他)』

『異物・コンタミネーション対策基礎』

ESD対策基礎・塵埃対策とイオナイザー』

日時:20191127日(水)

100V以下の静電気対策(CDM他)』10:0011:45

『異物・コンタミネーション対策基礎』:12:45〜14:15

ESD対策基礎・塵埃対策とイオナイザー』:14:30〜16:00

会場:大田区産業プラザ(東京 蒲田)3階特別会議室

主催:NPO法人ESD協会 

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時下ますますご清祥の段、お慶び申し上げます。

来る11月27日水曜日、大田区産業プラザにてNPO法人ESD協会の主催で、静電気対策セミナーを開催いたします。


静電気対策セミナー詳細


講演題目:100V以下の静電気対策(CDM他)』

時  間:10:00〜11:45

講  師:津波古 和司様


HDD業界では、10Vの静電気対策(CDM・金属間放電)が行われております。

一方、半導体業界では100VCDM)がかなり普及して来ました。しかしながら、高機能デバイス・シングルナノ・メータープロセスの普及に伴い、ESD対策のアップグレードが必要と成って来ました。

今回、長年HDD業界で静電気対策に携わって来られました講師の方に、10VCDM)対策の基本的な考え方に付いて御講演をお願いしております。


講演題目:『異物・コンタミネーション対策基礎』

時  間:12:4514:15

講  師:岩佐 茂夫様


ゴミ・異物不良の範疇:

・雰囲気中のゴミ・異物 ・生産機械からのゴミ・異物 ・材料からのゴミ・異物

・人体からのゴミ・異物

クリーン化技術:

・ゴミ・異物の大きさ ・クリーンルームの4原則 ・クリーンルームの原理 

・ゴミ・異物の性質を知る ・クリーンクラスと粒径 ・人体は大きな発塵減 

・ゾーニング ・クリーンの4原則と5S ・風の制御

ゴミの見える化:

・光度 ・コントラスト ・ゴミの堆積跡 ・ゴミの収集

ゴミの排除方法:

・清掃の重要性 ・陽圧と負圧の活用 ・ワイパーの使い方 ・洗浄槽の管理 

・設備メンテナンスの重要性 ・清掃作業の簡略化

ゴミ削減の実例集

まとめ


講演題目:ESD対策基礎・塵埃対策とイオナイザー』

時  間:14:3016:00

講  師:山口 晋一様


除塵対策に対応する、イオナイザーの効果と材料:

・低発塵送風型イオナイザー・無発塵送風型イオナイザー

・イオナイザーの放電針からの発塵特性

・クリーンルーム内における塵埃対策と静電気問題

静電気の基礎;

・見逃されている静電気の基本的な挙動(電荷・静電容量・電位)

・摩擦帯電・剥離帯電・誘導帯電・管理項目と測定の数値化

1)静電気測定値(電計計・表面電位計) 

2)対象物の大きさと距離の違いによる測定精度・測定誤差 

3)イオナイザーの検査・評価の実演(チャージド・プレートモニター) 

4)静電気放電の検出(連続して起こる放電の可能性) 

5)抵抗測定(作業表面・床・拡散性対策材料)

静電気対策の経緯;

・故障モードの変遷 *人体帯電モデル(HBM チャージデバイスモデル(CDM

・今後懸念されるESD事象

1)SDM(テストソケットの帯電によるESD問題) 

2)帯電したPCB基板からの静電気放電(CBE) 

3)イオナイザーが形成する電界による誘導帯電 

4)潜在不良について 

静電気対策;

・各種イオナイザーに関する解説

・静電気拡散性材料に関する解説 

(温湿と表面抵抗値・測定電圧面抵抗値・表面抵抗体積抵抗の均一性) 


Q&A16時〜1630分(講師全員)


 RCJ賛助会員企業様・ESD協会会員企業様:10,000

 ESDCコーディネータ様:20,000

 一般:30,000


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